| المعلم | المواصفات |
|---|---|
| درجة الفراغ | 30Pa-100Pa |
| تدفق الغاز | 0-100ml/s |
| وقت التنظيف | قابلة للتعديل (1-9999s) |
| وضع التبريد | تبريد الهواء |
| قنوات الغاز | غازات العمل ذات الاتجاهين (الأرغون، الهيدروجين، الأكسجين، النيتروجين، الهواء، الخ) |
| أنظمة التحكم | PLC + شاشة لمسة |
| درجة حرارة تجويف الفراغ | < 50 درجة مئوية |
| مضخة الفراغ | مضخة الزيت / مضخة الجفاف (اختياري) |
| إمدادات الطاقة | AC220V ((± 10V) |
| ملاحظات | المعدات المخصصة المتاحة لأشكال المواد المختلفة والأحجام وقدرات الإنتاج |