معدات معالجة السطح للصقاقات البلازما
آلة تنظيف بلازما متقدمة مصممة لصناعة أشباه الموصلات والإلكترونياتمع تكنولوجيا البلازما الألمانية الأساسية والهندسة الدقيقة لأداء عالٍ في معالجة السطح.
لمحة عامة عن المنتج
هذه الآلة المدمجة لتنظيف البلازما تحت الفراغ تستخدم تقنية الارتباط التحفيزي وتتفوق في عزل أنابيب الميكروويف ومكوناتها.مثالية لمعالجة المنتجات الحساسة التي تتطلب معايير نظافة عالية، فإنه يعالج بشكل فعال البلاستيك، والمواد الكيميائية الحيوية، PDMS، الزجاج، أشباه الموصلات المعدنية، السيراميك، المركبات، البوليمرات والمواد الأخرى لتحقيق التنظيف السطحي المتفوق، التعقيم،تحسين قابلية الرطوبة، تعديل خصائص السطح، وتحسين قوة الارتباط.
الخصائص الرئيسية
- محسّنة للإنتاج على نطاق صغير وتطبيقات البحث العلمي
- تصميم صغير مع سهولة التشغيل والصيانة
- تكنولوجيا البلازما الألمانية الأساسية لأداء موثوق به
- البناء المقاوم للتآكل المستورد 316 من الفولاذ المقاوم للصدأ
- التحكم بدقة في تدفق مع صمامات الإبرة المستوردة
- قنوات الغاز المفاعل ذات العملية المزدوجة للتطبيقات متعددة الاستخدامات
- خيارات التخصيص المتاحة لمتطلبات محددة
المواصفات التقنية
| المعلم |
المواصفات |
| درجة الفراغ |
30Pa-100Pa |
| تدفق الغاز |
0-100ml/s |
| وقت التنظيف |
قابلة للتعديل (1-9999s) |
| وضع التبريد |
تبريد الهواء |
| قنوات الغاز |
غازات العمل ذات الاتجاهين (الأرغون، الهيدروجين، الأكسجين، النيتروجين، الهواء، الخ) |
| أنظمة التحكم |
PLC + شاشة لمسة |
| درجة حرارة تجويف الفراغ |
< 50 درجة مئوية |
| مضخة الفراغ |
مضخة الزيت / مضخة الجفاف (اختياري) |
| إمدادات الطاقة |
AC220V ((± 10V) |
يمكن تخصيص معدات متخصصة لأشكال المواد المختلفة والأحجام ومتطلبات القدرة الإنتاجية.
مكونات المعدات
يتكون نظام تنظيف البلازما من خمسة مكونات رئيسية:
- غرفة التفاعل:تتكون من غرفة فراغ وأقطاب كهربائية، توفر مساحة تفاعل البلازما لمعدات المواد
- نظام الفراغ:يشمل مقياس الفراغ ومضخة الفراغ والأنابيب لإخلاء الهواء والحفاظ على مستويات الفراغ المثلى
- نظام التفريغ:يوفر الطاقة لإثارة أيونية غاز التفاعل وتوليد البلازما المطلوبة
- نظام التحكم الإلكتروني:يتحكم في تشغيل المعدات وفقًا لمعلمات العملية المثلى ويحافظ على الاستقرار
- نظام التحكم في تدفق الإدخال:خصائص عدادات التدفق وصمامات السولينويد للسيطرة الدقيقة على تدفق الغاز وصيانة الفراغ
إجراءات العملية
- فتح باب غرفة الفراغ، وضع العناصر لمعالجة، وإغلاق الباب بشكل آمن
- تنشيط مفتاح الطاقة الرئيسي وتهيئة المعلمات عبر واجهة الشاشة اللمسية
- المعدات تقوم تلقائيًا بتنفيذ المعلمات المحددة (فراغ → مدخل الهواء → تفريغ → فارغ)
- الإشارة الصوتية لإنهاء دورة المعالجة
- افتح باب الغرفة وأخرج العناصر المصنعة
مبادئ تكنولوجيا البلازما
مقدمة البلازما
البلازما تمثل الحالة الرابعة للمادة جنبا إلى جنب مع الصلبة والسائلة والغاز. باستخدام جسيمات عالية الطاقة، البلازما تمكن من تنشيط السطحو إزالة التلوث من خلال التفاعلات الفيزيائية و الكيميائية، تحسين خصائص سطح المواد بما في ذلك معامل الاحتكاك والتماسك والحيوية.
تأثيرات تنظيف البلازما
تكنولوجيا تنظيف البلازما تستفيد من خصائص البلازما منخفضة درجة الحرارة لتنظيف السطوح المادية كيميائياً وفيزيائياًوالتي تمكن الحفر الدقيق.
تنظيف السطح وتفعيله
تشكيل المجموعات الوظيفية
إدخال الغازات المفاعلة في الغاز المفرج يخلق تفاعلات كيميائية معقدة على سطح المواد المنشطة، وتوليد مجموعات وظيفية جديدة مثل هيدروكاربيل، أميدوجين،والكاربوكسيل التي تعزز بشكل كبير نشاط السطح.
حفر البلازما
حفر البلازما يزيل المواد الغازية المتطايرة الناتجة عن إنشاء البلازما من الغازات المختارة والمواد السطحية الصلبة. تقدم عملية البلازما التفاعلية هذه معدلات حفر عالية وتوحيد،مع معايير البلازما التي تؤثر بشكل حاسم على فعالية الحفر.
عملية تنظيف البلازما
فوائد تنظيف البلازما
- البديل الصالح للبيئة للتنظيف الرطب التقليدي (خالي من مركبات الـ VOC)
- تكاليف تشغيل منخفضة باستخدام الغاز كوسيط تفاعل (الأكسجين)
- مجموعة واسعة من التطبيقات دون تمييز مادي
- كفاءة عالية في التنظيف مع قدرات الأتمتة
- إزالة الأوساخ في وقت واحد وتعزيز خصائص السطح
مقارنة الأداء
قياس زاوية الاتصال يحدد مرطوبة السائل على الأسطح الصلبة. الزوايا أقل من 90 درجة تشير إلى الأسطح الهيدروفيلية مع مرطوبة أفضل في الزوايا الأصغر.بينما الزوايا فوق 90 درجة تشير إلى خصائص هيدروفوبية.
قياس قيمة الدين يقيّم القدرة على ربط سطح المواد في تطبيقات الطباعة والطلاء والطلاء واللحام.القيم الدينية العالية تشير إلى أداء رابطة أفضل مع المواد الأخرى.
التطبيقات الشائعة
تعديل السطح للمواد البوليمرية لتحسين خصائص الارتباط
إزالة بقايا الأوكسيد من المكونات الإلكترونية لتحسين جودة وفعالية الارتباط
إزالة الملوثات العضوية من قاعدة الزجاج
إزالة زيت السطح المعدني
تعديل التنظيف من الجرافين والمسحوق
ربط نشط على سطح PDMS
ضمان الجودة والخدمة
ضمان شامل لمدة عام مع دعم فني طوال فترة الضمان. توفير وثائق كاملة وتدريبات لتحسين تشغيل المعدات وصيانتها.
- الوثائق التقنية الكاملة بما في ذلك كتيبات التشغيل والتشغيل والصيانة مع مخططات الدوائر والدوائر الغازية وأنابيب الأنابيب
- إرشادات تفصيلية لإعداد التثبيت
- تدريب شامل عن بعد يشمل التشغيل العادي والإصلاح والصيانة وتحليل المشكلات وإجراءات الطوارئ
- الدعم الفني ووثائق الضمان مع معلومات الاتصال